máy đo tọa độ 3 chiều là một thiết bị đo hình dạng và kích thước vật lý của vật thể bằng các đầu dò tiếp xúc gián tiếp hoặc trực tiếp lên bề mặt của vật thể. Hiện nay trên thị trường có rất nhiều loại đầu dò khác nhau, được sử dụng tùy thuộc vào kích thước và đặc điểm của vật thể như: đầu chạm, đầu đo quang học, máy quét laze, đầu đo bằng camera và hệ thống ánh sáng. Điều đặc biệt của máy CMM chính là ở cấu tạo và nguyên lý hoạt động của đầu dò, nó có thể di chuyển trên hệ trục X, Y, Z – tức là hệ trục 3D (nhiều máy được trang bị trục quay), ngoài ra các đầu dò đa dạng giúp có thể đo được các phần bề mặt mà đầu chạm không thể tiếp xúc được.
Một máy CMM thường được cấu tạo bởi 3 bộ phận:
Hệ thống đầu dò: đầu chạm, đầu đo quang học, máy quét laze hoặc camera và hệ thống ánh sáng.
Cấu trúc chính: bao gồm hệ thống chuyển động đa chiều của đầu chạm. Tùy vào ứng dụng mà có các cấu trúc khác nhau, bao gồm: dạng station cố định sử dụng để đo đạc vật thể nhỏ, dạng arms tay cầm chuyển động được và có thể hoạt động ở ngoài trời cho các vật thể lớn không thể đưa vào phòng thí nghiệm, …
Phần mềm thu thập, xử lý dữ liệu và điều khiển hệ thống, gồm thiết bị điều khiển, màn hình điều khiển và phần mềm giúp đưa ra các dữ liệu đánh giá độ chính xác của sản phẩm so với bản vẽ ban đầu hoặc đưa ra bản vẽ của vật thể được đo/quét.
Xem thêm: kính hiển vi quang học